半導體汙水處理流程,半導體晶元製造廢水處理方法

2025-02-20 06:15:24 字數 4984 閱讀 7054

1樓:深圳巨集森環保

單晶矽有機矽獨特的結構,高純的單晶矽是重要的半導體材料,具備了無機材料與有機材料的效能,市場上閘流體、場效電晶體、二極體、三極體、晶元、cpu以及各種積體電路都是用矽做為原材料的,在對半導體裝置的加工過程中會產生大量含有矽廢水,本文講解一下關於半導體工藝產生的廢水有哪些?廢水處理的流程是什麼?

半導體含矽廢水處理工藝流程:

1、一級沉澱池,用於沉澱**部分二氧化矽;

2、一級混凝池,用於投加混凝劑去除廢水中的膠體矽和溶解矽,與所述一級沉澱池連線;

3、二級混凝池,用於投加助凝劑和成核劑,利用成核劑反應析出的沉澱物(泥渣)作為接觸介質加快沉澱物的長大,提高混凝效果,與所述一級混凝池連線;

4、二級沉澱池,用於固液分離,沉澱混凝後的絮體,與所述二級混凝池連線;

在對含矽廢水進行初步沉澱時是可以**部分的二氧化矽,在初步沉澱後的廢水投加混凝劑進行一級混凝,去除廢水中的膠體矽和溶劑矽,完成一級混凝後的廢水投加助凝劑和成核劑,這時將會析出的沉澱物,析出的沉澱物在下落的過程中可以於其他的懸浮物混合,加快了沉澱的速度,提高混凝效果。

該半導體含矽廢水處理方法結合了多種混凝除矽方法,藥劑得到充分利用時形成協同效應,處理操作簡單而且能達到較好的除矽效果

2樓:網友

1)將半導體器件製造中產生的電鍍廢水和研磨廢水進行混合,形成混合廢水;(2)將步驟(1)的混合廢水幫浦入浸沒式膜過濾裝置過濾;(3)將經過步驟(2)過濾的水幫浦入納濾膜過濾裝置過濾,經過納濾膜過濾裝置過濾的水即可直接回用。本發明採用上述半導體加工混合廢水經浸沒式膜過濾裝置過濾及納濾膜過濾裝置過濾處理,可**大於85%的水資源,**水質穩定,**水質完全達到和優於國家標準,整個處理過程未新增任何化學藥劑,不會產生有害的汙泥,執行費用較低,濃縮後的汙泥無毒、無害,易處理。

3樓:惠企百科

汙水處理流程如下:

1、廢水首先經過格柵、篩網後流至絮凝沉澱池,為了使處理效果好,在絮凝沉澱池中加入混凝劑,使廢水中懸浮物治理效果更好,混凝加藥也起到調節廢水的作用,絮凝沉澱後的廢水流入預曝氣調節池中。

2、曝氣調節池中通入空氣,起到預曝氣調節的作用。調節均勻的廢水用幫浦提公升到一級浮動填料生化池中。

3、生化池中安裝充氧效率很高的曝氣頭,並裝入浮動填料,實踐證明該項技術對cod和bod有較高的去除效率。一級浮動填料生化池中廢水自流入二級浮動填料生化池,二池採用方法相同。

4、二級浮動填料生化池水自流入斜板沉澱池中。池中加入聚丙烯蜂窩斜管,可大大提高沉降效率,另外水力負荷高,停留時間短,佔地面積小。

5、混凝沉澱池與斜板沉澱池沉澱汙泥排入汙泥濃縮池中,然後經汙泥脫水機械脫水。

6、斜板沉澱池排出的水流入清水池中,經檢測後外排。

半導體晶元製造廢水處理方法

4樓:寒灬羽丶

晶元製造生產工藝複雜,包括矽片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反覆交叉,生產中使用了大量的化學試劑如hf、h2so4、nh3・h2o等。

所以一般晶元製造廢水處理系統有含氨廢水處理系統+含氟廢水處理系統+cmp研磨廢水處理系統。具體方案可以諮詢澤潤環境科技(廣東)****網頁連結。

5樓:網友

這個主要看你廢水中主要成分是什麼,對環境的危害等級是什麼等等。不過很多半導體工廠都會有自己的汙水處理池。一些特殊的汙水,一般都是聯絡**商處理的。

6樓:網友

方法多了去了,主要看汙染物是什麼……

半導體工藝廢氣如何處理?

7樓:格林斯達環保集團

樓主您好,根據您提出的問題,下面為您做詳細解答:

半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是vocs,同時廢氣中還混合了hcl、氨、hf等危險汙染物。

半導腔扒體有機廢氣處理辦法採用rto裝置處理rto蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,淨化廢氣,並**廢氣分解時所釋放出來的熱量,廢氣分解效率達到99%以上,熱**效率達到95%以上。

直接燃燒法處理有機廢氣鍵裂風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐伍亮昌(to)→煙囪排氣達標排放。

希望此次對您有所幫助!

8樓:籃球部落隊

rto蓄熱式氧化爐,簡稱「rto裝置」,是採用高溫破壞焚燒的廢氣治理技術。採用plc智慧型操控系統,能夠將裝置的處理資料資訊進行智慧型化系統監管,既能臘握槐夠反應裝置的操縱溫度及反應速度,還能夠與環保局進行物聯網聯結,即時提供廢氣的達標排放資料。裝置的主體由燃燒室、陶瓷填料床和轉換閥等構成。

原理是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,淨化廢氣,並**廢氣分解時所釋放出來的熱量。

目前,半導體廠廢氣處理方法一般採用吸附法、焚燒法或兩者結合的方法。吸附是利用多孔固體吸附劑對混合氣體進行處理,使其中的一種或多種組分能夠吸附在固體表面,達到分離的目的。該吸附劑選擇性高,能分離其它工藝難以分離的混合物,能有效去除(或**)低濃度有害物質,淨化效率高,裝置簡單,操作方便,可實現自動控制但固體吸附劑吸附容量小,需要大量吸附劑,裝置龐大,吸附後需要再生處理,這是吸附處理的主要缺點。

從半導體生產現場揮發出的有機廢氣經就地排氣罩收集後,經管道送至吸附淨化系統。一般用活性炭作吸附劑。由於活性炭是一種非極性吸附劑,其對廢氣中水汽的敏感性不高,**低廉。

焚燒法也廣泛應用於半導體工業的各種有機廢氣處皮悉理,有機物通過熱氧化轉化為二氧化碳和水。

同時,焚燒也是處理流量和濃度穩定的廢氣的好方法。在熱氧化過程中,有機廢氣被加熱,氣相有機物被氧化。為了節省燃料,通常採用換熱器**焚燒產生的熱量,對進口燃氣進行預熱。

這輪友種方法通常用於處理大流量、低濃度的氣體。由於半導體工業中的廢氣焚燒產生二氧化矽,二氧化矽鈍化催化劑,接觸氧化在半導體工業中應用較少。

9樓:黃健聰科技

隨著科技的發展,目前市場上新材料行業與傳統材料相比,其應用範圍更廣了,新材料產業的研究與開發投入高,產品的附加值高在生產與市場的國際性強,而且新材料半導體行業的發展前景好。而新材料半導體行業在加工的過程中採用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機物成分,在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放,這部分揮發的廢氣主要成分為具有揮發性的vocs,下面講解一下關於:新材料半導體行業的廢氣應該怎麼處理。

#催化燃燒廢氣處理裝置#

新材料半導體行業的廢氣除了含有vocs以外瞎亮,還混有hcl、氨、hf等危險汙染物,伏嘉環境採用的是rto蓄熱式焚燒爐來處理半導體行業的廢氣:工業廢氣中主要含有酸性氣體、鹼性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種,自身具有的溶解特性,半導體工業的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。

rto裝置採用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術,公升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高巧神慎達700度或者以上,雖然溫度需高達700度左右,但是其實消耗的能源並不多,裝置執行期間部分的熱能是能夠**重新利用的,降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。

伏嘉環境半導體材料廢氣處理裝置的淨化孝敬效率可維持穩定在99%以上。

半導體廢氣處理

10樓:亞浩科技

樓主您好,根據您提出的問題,下面為您做詳細解答:

半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些轎寬有機溶劑大部分通過揮兆帆孝發成為廢氣排放。其廢氣的主體是vocs,同時廢氣中還混合了hcl、氨、hf等危險汙染物,分離和處理難度比較大。

半導體酸廢氣處理方法

半導體酸廢氣處理通常採用鹼液體噴淋法,又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除汙染物,而達到大氣排放標準,故噴淋法是半導體行業酸鹼廢氣治理普遍採用的主要處理方法。

新材料行業半導體廢氣處理的方法

新材料行業與傳統材料相比,新材料產業具有技術高度密集,研究與開發投入高,產品的附加值高,生產與市場的國際性強,以及應用範圍廣,發展前景好等特點,其研發水平及產業化規模已成為衡量乙個國家經濟,社會發展,科技進步和國防實力的重要標誌,世界各國特別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。

作為新材料產業的代表之一,半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、鹼性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

rto蓄熱式焚燒爐裝置,簡稱「rto裝置」,是族稿採用高溫破壞焚燒的廢氣治理技術。採用的公升溫能源一般是電和天然氣,雖然採用高溫700℃的溫度進行廢氣處理,但其實消耗的能源並不多,這是因為裝置能夠將熱能**利用,大大降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。裝置的主體由燃燒室、陶瓷填料床和轉換閥等構成。

裝置的淨化效率也維持穩定在99%以上。

半導體行業廢氣處理方法以及對比

半導體行業有機廢氣處理方法,通常先用沸石轉輪對vocs進行吸附濃縮之後,再用直接燃燒法進行銷燬,廢氣淨化率達到97%以上。

直接燃燒又稱為直接火焰燃燒,它是把vocs可燃組分直接燒掉,因此該方法適用於淨化可燃有害組分濃度較高的廢氣,或者淨化有害組分燃燒時熱值較高的廢氣;多種可燃氣體或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中,只要濃度值適宜,也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高於燃燒上限,可以混入空氣後燃燒;如果可燃組分的濃度低於燃燒下限,則可以加入一定數量的輔助燃料如天然氣等,維持燃燒。

希望此次對您有所幫助!

半導體汙水處理裝置的優勢有哪些

11樓:網友

1、使用脫氣膜系統處理水中的氨氮,能耗非常低,只有常規的吹脫法工藝的5%,佔地面積只有30%。

2、採用一體化的石灰配藥、加藥裝置,以有效降低人工成本,實現自動化運轉。

3、採用高效汙泥脫水、壓榨式廂式壓濾機,有效降低汙泥中的含水率,減少汙泥的委外費用,實現汙泥減量化。

半導體物理半導體物理哪本書好?

對於非簡併的n型半導體,如果把導帶中的所有可能被電子佔據的能級都歸併到導帶底 ec 這一條能量水平線上 設歸併到一起的能級的密度為nc 那麼電子佔據各條能級的機率就都將一樣 等於exp ec ef kt 於是就可直接寫出導帶電子的濃度與fermi能級的關係為no nc exp ec ef kt 當然...

半導體是什麼意思,什麼是半導體?

半導體的意思是常溫下導電性能介於導體與絕緣體之間的材料。半導體在消費電子 通訊系統 醫療儀器等領域有廣泛應用。如二極體就是採用半導體製作的器件。無論從科技或是經濟發展的角度來看,半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品,如計算機 移動 或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關...

什麼是半導體

半導體 semiconductor 指常溫下導電性能介於導體 conductor 與絕緣體 insulator 之間的材料。半導體在收音機 電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極體就是採用半導體製作的器件。半導體是指一種導電性可受控制,範圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經濟發展的角度來看...